Вакуумният клапан е специален клапан на вратата, специално използван във вакуум или системи от отрицателно налягане. Основният му дизайн се върти около ултрависоко уплътняване и ниска степен на изпреварване. Принципът на работа и характеристиките са както следва:
1. Определение на ядрото
Функционално позициониране
Използва се в ултра-висока чиста среда с вакуумна степен, по-малка или равна на 1 × 10⁻⁶ PA, за да се предотврати проникването на външен газ или вътрешен материал от преодоляване и замърсяване на вакуумната кухина.
Оздравяване на стандарта
Скоростта на изтичане е строго контролирана при по -малко или равна на 1 × 10⁻⁰ pa · m³/s (стандарт за откриване на хелий), което е далеч по -високо от обикновените промишлени клапани.
2. Основни структурни характеристики
System
Приемете динамичното уплътнение на изцяло металните зърна (заменете традиционната кутия за пълнене), за да елиминирате микро-лигада, причинено от движението на стъблото на клапана.
Контактната повърхност между портата и седалката на клапана е полирана от огледало (RA по-малка или равна на 0,2 μm), а засилването на уплътнителния пръстен на сплав от злато-мек се използва за постигане на свързване на молекулно ниво.
Material Selection
Корпусът на клапана е изработен от 316L ултра ниска въглеродна неръждаема стомана, а повърхността се намалява чрез електролитично полиране (редуцираща адсорбция на газ).
Крънките са направени от Hastelloy C-276 и могат да издържат на по-голямо или равно на 100 000 вакуумно-атмосферно налягане, редуващи се натоварвания.
Special дизайн
Кухината на клапана е оборудвана с спомагателен изпускателен порт (KF16 фланец интерфейс), за да се евакуира и балансира разликата в налягането преди отваряне и затваряне.
Типът нискотемпературен е оборудван с течно яке за охлаждане на азот, за да се предотврати отклонението на уплътнителния материал да се изпуска.
3. Работен режим
Pening процес
Първо стартирайте спомагателната вакуумна помпа, за да евакуира кухината на клапана до същото ниво на вакуум като системата (за предотвратяване на нарушаване на въздушния поток).
Безните задвижват портата да се издигат вертикално, а коефициентът на проводимост на потока е по -голям или равен на 0,95, когато каналът на потока е напълно отворен.
Завършване на процеса
Когато портата падне, превключвателят на лимита се задейства автоматично и започва вторичният ауспух, за да се гарантира, че остатъчният газ в кухината на клапана е изчерпан.
Контактната уплътнителна повърхност произвежда самозатягащ се ефект при отрицателното налягане на системата. Колкото по -голяма е разликата в налягането, толкова по -строг е уплътнението.
4. Типични сценарии за приложение
СВОБОДНО Изследователско оборудване
Сегментирана изолация на вакуумни тръбопроводи за ускорител на частиците (като Европейската организация за ядрени изследвания LHC). Вакуумният защитен клапан на Undulator за източник на синхротронни радиации.
Индустриално оборудване
Контрол на инжектирането на реакционната камера за полупроводниково покритие на ALD.
Авариен изолационен клапан за тестова вакуумна камера за космически кораб.
Специална област
Вакуумна изолация на първата система за охлаждане на стената на ядрено устройство за синтез (като ITER).
Запечатване на канал за пренос на проба на симулационната камера за лунен прах.
5. Показатели за изпълнение
Тремпературен обхват : -196 градуса (охлаждане на течен азот) до 450 градуса (тип високо температура).
Diameter Range: DN10 Микро клапан до DN800 Голяма камера за вакуумно заключване.
Mode Operation : Ръчно задвижване на зъбното колело, пневматично бързо отваряне (време за реакция<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Точки за поддръжка
След всеки 1000 операции се изисква откриване на течове на мас -спектрометрия и монтажът на Bellows трябва да бъде заменен, ако скоростта на изтичане надвишава стандарта.
Контактната уплътнителна повърхност трябва да бъде повторно полирана на всеки 5 години, за да се възстанови повърхностното покритие.
Забранено е да се използва ацетон и други органични вещества за почистване. Препоръчва се плазмено химическо почистване.