Вакуумният клапан е ключово устройство за регулиране на течността във вакуумна среда чрез прецизно уплътняване и управление на задвижването. Работният му механизъм може да бъде разделен на следните основни модули:
1. Основен работен механизъм
раздяла дял
Възприемайки динамичното уплътнение на изцяло метални зърна (вместо традиционното опаковане), духарите се разширяват и свиват, когато стъблото на клапана се движи, за да поддържа херметиката на вакуумната камера, а скоростта на изтичане е по-малка или равна на 1 × 10⁻2 pa · m³/s.
Когато портата е затворена, тя образува молекулярно прилягане с огледалната седалка на клапана (RA по-малко или равна на 0,2 μm) и си сътрудничи с медния уплътняващ пръстен за сплав, за да подобри ефекта на контактното уплътнение.
Drive контрол
Ръкоменна типа: Предаване на червеи предавка, духарите се задвижват нагоре и надолу чрез въртене на ръчното колело, а въртящият момент е по -малък или равен на 15N · m4.
Electric Type: Задвижване на стъпковия двигател, точност на позициониране 0,01 мм, подходяща за трансмисионна система за полупроводникови вафли.
Pneumatic тип : Сгъстеният въздух задвижва буталото на цилиндъра, времето за реакция е<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
налягане на баланса
Корпусът на клапана е оборудван с KF16 спомагателен порт за извличане на въздух. Преди отваряне и затваряне се използва независима вакуумна помпа за балансиране на разликата в налягането между кухината на клапана и системата (ΔP ＜ 10PA) за предотвратяване на нарушаване на въздушния поток.
2. Типичен работен режим
| Режим | Работен процес | Приложение |
|---|---|---|
| ly приложено | Портата напълно притиска седалката на клапана, за да образува двойно уплътнение (Bellows + контактна повърхност) | Изолация на тръбата за ускоряване на частиците |
| Регулиране на потока | Отворът на клапана на клапана се контролира при 10%-90%, а линейният контрол на потока се постига през V-образния дроселен жлеб | Инжектиране на газ за процес на вакуумно покритие |
| Бързо рязане | Пневматичният задвижващ механизъм задейства процедурата за спиране на аварийните изключения, времето за реакция по -малко или равно на 0,3S | Изтичане на изтичане на ядрено синтез |
| Поддържане на налягането | Свързан с вакуумния манометър, отворът на клапана автоматично се настройва, за да се поддържа зададената вакуумна степен (± 0,5pa) | Симулационна камера на космическата среда |
3. Характеристики на материалите и процесите
Valve Body: 316L ултра ниско въглеродна неръждаема стомана Електролитично полиране, намалявайки повърхността на адсорбцията на газ с повече от 60%
Components reale kongows (устойчив на 100 000 цикли на умора) + меден пръстен без кислород без кислород (Vickers Hardness HV80)
Surface Обработка : Запечатване на повърхностна йонна разпръскваща титаниево покритие (дебелина 2 μm), коефициент на триене намален до 0,08.
4. Сравнение на сценарий на кандидатстване
| Поле | Тип клапан | Вакуумни изисквания | Специални нужди |
|---|---|---|---|
| Полупроводниково производство | Електрически вакуум | По -малко или равни на 1 × 10⁻⁷ pa | Устойчив на 150 градусово печене, освобождаване на нулеви частици |
| Тестване на космически кораби | Пневматичен бърз затварящ клапан | По -малко или равни на 1 × 10⁻⁵ pa | Вибрационно устойчивост (20-2000Hz) |
| Източник на синхротронно излъчване | Течно охладен клапан на портата | По -малко или равни на 1 × 10⁻⁹ pa | Охлаждащо яке с течен азот (-196 градуса) |
| Ядрено устройство за синтез | Радиационно устойчив изолационен клапан | По -малко или равни на 1 × 10⁻⁴ pa | Неутронно облъчване (10⁹ N/cm²) |
5. Параметрите на границата на производителността
Температурен диапазон: -269 градус (Тип течен хелиев охлаждане) до 450 градуса (тип сплав с висока температура)
Диаметър на диаметъра: Микро клапан φ6mm до голям вакуумна камера val1200mm
Индекс на живота: Сглобяването на зърнените уплътнения по -голям или равен на 50 000 цикъла на отваряне и затваряне